金属工业研究发展中心日前宣布成功开发连续式镀膜自动化系统,该技术具备低成本与高效率的特性,将可支援国内高科技产业生产并带动国内镀膜产业发展。
金属中心表示,随着国内光电及半导体产业快速发展,对真空镀膜制程技术及设备需求日益殷切,金属中心在经济部科技专案计画之下,整合连续式制程监控模组与镀膜硬体设备,开发出这套连续式镀膜自动化系统,成本约只有进口设备的五分之三。
真空镀膜已被大量应用在光电、半导体、光磁储存媒体、被动元件、平面显示器、微机电、光学元件与生医材料等,目前国内自制的镀膜设备仍以单一腔体为主,一次只能进行一批次产品的单一镀膜处理,生产效率低,而金属中心开发的这套连续式镀膜自动化系统,采多腔体连续式设计,可同时进行多批次产品的镀膜与复合镀膜处理,有效提高生产效率和降低成本。
国内年进口镀膜相关设备产值约新台币十多亿元,金属中心表示,这套系统的成功开发除可取代进口货,并可带动国内镀膜产业发展。