根据外电报导，大陆晶圆代工业者中芯表示，该公司年底将收到向欧洲业者订购的193奈米高阶扫描机，而使得该公司0.13微米制程技术得到莫大的助益；中芯计画在2003年初开始90奈米制程技术研发工作。

报导亦指出，与中芯已有合作关系的比利时微电子科技研发中心（IMEC），也可能将0.13微米技术转移给中芯，而有助于中芯未来克服低介电（Low-K）技术相关难题。

但中芯国际技术发展部门副总裁Simon Yang表示，中芯将不会急于转换至低介电技术，而发展90奈米技术是中芯2003年较重要的研发工作。

除中芯积极向高阶制程技术发展外，包括日本Trecenti Technologies、南韩东部电子、马来西亚的1st Silicon、Silterra，以及以色列的Tower Semiconductor等世界其他晶圆代工业者也同样积极。