东芝与美国SanDisk共同发表了采用43nm制程,和2bit/单元多层技术所生产的16Gbit NAND闪存。这种芯片面积仅120平方公厘,可封装在超小型储存卡microSD内。新产品配备了控制栅极驱动电路和存储数组上的电源总线,NAND串数延长至66个,并减小电路面积达9%以上。
该两家公司在2007年12月中,于美国华盛顿召开的电子组件技术国际会议2007 International Electron Devices Meeting(2007 IEDM)上,共同发表了用于实现此种16Gbit NAND闪存产品的制造技术。储存单元采用浮游栅极构造。透过将储存单元的控制栅极和浮游栅极间的绝缘膜(inter-gate dielectric film;IGD)厚度减薄到不足13nm,同时实现了多层记忆和高速写入。此外,由于字线采用钴硅化物材料、位线采用铜材料,所以减小了行译码器和位线控制电路的面积。