美国SiTime正着手开发用于硅振荡器的新架构MEMS振子。据了解,一般MEMS振荡器(硅振荡器)都是利用MEMS技术所制造的硅共振结构(振子)和驱动电路所构成的,而SiTime目前正量产的产品是使用共振频率为5MHz的振子,透过PLL电路转换成符合客户需求的频率后,输出频率。
SiTime计划开发高精度、低抖动与高单价的产品,因此需要能产生更高共振频率的振子。利用PLL电路提高频率时,时间轴方向的抖动误差值不易增大,由于高共振频率的振子能够缩小组件尺寸,因此有助于降低成本。
5MHz共振频率的振子俯视呈长方形,采用梁柱连接对角的结构。相较之下,50MHz共振频率的组件,则可能有各种不同的结构,例如三叶草型等,SiTime可依据客户的要求而分别采用不同结构的振子。
SiTime过去常使用MEMS技术开发振子和振荡器产品,来分食水晶振荡器市场,目前更计划以模拟技术进军频率组件市场。预计未来将有机会达到60亿美元市场规模。