英特尔(Intel)将在ISSCC 2008上发表采用high-k绝缘膜和金属栅极,以45奈米CMOS制程制作的SRAM芯片。电源电压为1.1V时,工作频率为3.5GHz。主要用于新一代Core 2微处理器的二次缓存。
为提高低压工作时SRAM单元的稳定性,英特尔对单元的PMOS晶体管进行了动态体偏压(body bias)控制。除此之外,还配备有可程控LSI工作时的漏电电流的电路。
过去对于65奈米的LSI制程,逻辑LSI厂商的晶体管栅极绝缘膜一直采用SiON系材料等。但是制程微细化发展到45奈米之后,人们越来越担心在栅极绝缘膜厚度日趋减小的同时,漏电流也会猛增。通过采用high-k绝缘膜,可以减小漏电流,提高LSI的性能。