国内DRAM厂中进军12吋晶圆生产脚步最快的茂德科技，制程设备已于上一季陆续移入晶圆厂，即将于八月下旬开始试产0.14微米的256M DRAM，预计明年初达到千片的月产能规模。

茂德营业处长林育中指出，茂德今年的资本支出总金额约为7.46亿美元，其中八吋厂与十二吋厂的投资，各为2.11亿美元及5.23亿美元。其中在十二吋厂部份，五亿余美元的投资可完成月产能九千片的生产线。但茂德也在观察，若明年DRAM景气可以回升，将继续投资现有的十二吋产能至每月一万八千片的规模。

茂德八吋厂目前百分之百以0.17微米生产128M及258M的DRAM，年底将有数千片的产能以0.14微米制程生产，同时年底也有0.11微米的产品开始试产。林育中补充说明，目前茂德与Infineon的DRAM技术移转合约只签到0.11微米，更为先进的制程技术移转，还要再与Infineon谈。茂德希望能在2004年能量产0.09微米的DRAM产品。