意法半导体(STMicroelectronics)与CMP (Circuits Multi Projects)共同宣布,将提供由意法半导体所开发的45nm CMOS制程给样品试制之用的厂商与单位。透过样品制造与少量生产用途的IC代理商CMP,可向大学、研究机构以及企业提供用于新一代系统级芯片(SoC)的45nm CMOS制程。
另外,该两公司还宣布将面针对学术研究用途提供采用SOI底板的65nm CMOS制程。该制程也将透过CMP提供。意法半导体表示,采用SOI底板可以使LSI芯片的性能比采用Bulk底板时更高,还可以降低耗电量。该公司表示,目前已有100多家大学获得了采用该公司Bulk底板的65nm CMOS制程设计规则和设计套件。
在此之前,曾有IBM、三星电子(Samsung)、英飞凌科技(Infineon)与特许半导体等四家厂商共同发表绘图处理LSI芯片的45nm Bulk CMOS制程技术。该技术是透过改进应变硅技术,与源极、漏极活性化技术,获得了栅长35nm的nMOS为1150μA/μm、以及栅长35nm的pMOS为785μA/μm(截止电流100nA/μm)的电流驱动性能,这是当时产业的最高水平。