亚东工业气体於桃园观音厂落成碳捕捉设备,透过二氧化碳回收制程,可提升现有之电子级氢气产量约 20%,并回收超过90%制程中产生的二氧化碳,回收的二氧化碳经过纯化,将供应给半导体客户的先进制程使用。本套设备可透过制程效率的提升,为半导体客户的先进制程提供高品质的产品,并透过制程效率的优化,落实亚东的减碳承诺。
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亚东工业气体二氧化碳回收设备启用典礼 |
亚东观音厂生产纯度 99.9995% 以上的电子级氢气供应半导体与面板产业。而透过此套碳捕捉设备的落成,亚东不仅可大幅度提升氢气产量,更回收超过九成的二氧化碳,再透过纯化制程,生产高纯度二氧化碳,供应半导体先进制程使用。