工研院能资所、力晶半导体、交大电子所、国家奈米元件实验室等产学界单位,近日与美国半导体环境友善生产制程研发中心(ERC),共同签订「12吋晶圆DRAM奈米制程环境友善关键技术国际研发计画」合作备忘录,为国内建构了「多边性国际合作及国内产学研合作机制」的策略联盟。
此项策略联盟,由工研院能资所主导计画及协调各执行单位,并在符合奈米制程的规格需求下,研究更环保、更省资源、更低污染排放的新式制程及材料,以求达到更好的制程效率。该计画主持人金光祖表示,短程由基础性的研究建立Know-why的Knowledge Base,使Know-how运作更为顺畅;中程以制程流程优化及降低生产成本的可行方案;长程希望能掌握奈米制程的关键技术之发展趋势及知识。目前研究的内容先针对高介电闸极制程(High-k Dielectrics)、晶圆表面清洗制备(Surface Preparation)、化学机械研磨(CMP)等课题,未来将规划扩大到其他的前瞻制程技术研发。