中国大陆晶圆代工业者中芯国际(SMIC)首座12吋厂Fab4,传设备已抵达并即将开始进行装机作业。据外电报导,中芯12吋晶圆厂将为英飞凌(Infineon)和尔必达(Elpida)代工,预计2004年下半开始投产。
中芯位于北京经济技术科技园区的Fab4为大陆首座12吋晶圆厂,该公司表示,将在2004年下半进入投产阶段的Fab4预计到2005年底每月将可产出2万片,但并未透露晶圆厂设备内容和设备供货商。中芯尚有一座兴建中的12吋厂Fab5,然中芯并未透露何时Fab5将进行装机。中芯目前在上海另有3座8吋晶圆厂Fab1~3,制程在0.13~0.35微米之间。
据了解应用材料(Applied Materials)应是中芯12吋厂设备最大赢家,2003年12月应用材料曾获得1亿美元的设备订单,推测该订单买主应是中芯。此外,荷商ASML、佳能(Canon)、科磊(KLA-Tencor)和科林(Lam Research)等半导体设备大厂,应亦曾接获中芯12吋厂设备订单。