台積電12吋廠首批晶圓產出良率已超越8吋廠，將使12吋廠擴廠速度加速。台積電總經理曾繁城26日表示，台積電有把握，12吋廠開始量產的一年後，經濟效益即可超過八吋晶圓廠，三年後，該公司12吋廠產能將超越8吋的總產能。若依此估算，台積電2003年的營收，至少將再翻一番，有機會超過新台幣三千三百億元，突破一百億美元，躋身全球前三大半導體公司。

台積電表示，晶圓廠由8吋移轉至12吋廠，要克服的最大障礙就是生產設備的穩定性與良率。理論上八吋移轉至12吋，晶圓邊緣所產出的微塵單位顆粒數將會減少，且晶圓面積增加2.25倍之後，邊餘可利用的面積提高，再加上機械設備的精密度增加，使產品的良率有機會拉高。台積電利用0.18微米已產製成功的產品，移至12吋廠生產，實際驗證的結果顯示，台積電12吋廠良率已確定高於8吋廠。