近日日本半導體設備製造商Tokyo Electron（TEL）在上海張江園區內擴建東電半導體公司，總面積將達1萬8800平方公尺，計劃2006年底將增加半導體製造設備、FPD製造設備等業務，並展開新一波的人力資源培訓。張江高科技園區開發公司總經理戴海波及Tokyo Electron社長東哲郎同時出席發佈儀式。

2002年4月東電半導體設備公司成立於上海，由於預期大陸半導體生產設備市場，將隨手機的IT相關設備的快速普及後成長，該公司決定增加對大陸的投資。2003年新年一開始，已經有一些積極活動的跡象。Investec半導體設備市場分析師Timothy Summers表示，2003年第一季TEL的訂單，預計將比2002年第四季大幅增加。