國安系統在過年前後密集召開過二次高層首長會議後，已確定放行八吋晶圓廠登陸的基本政策方向，但要在人才、資金及技術上訂定有效管理機制，在三月底前公布，以保有台灣半導體產業的優勢地位。行政部門將限制八吋晶圓的技術在○．二五微米以上可以放行，同時投資門檻將從嚴限制。

相關官員表示，政府雖同意放行八吋晶圓廠登陸，以維持台灣的產業競爭優勢，但在技術及資金兩方面將訂定有效管理的機制，以免影響國家安全。在技術方面，八吋晶圓廠放行的限於○．二五微米以上的技術。至於資金方面，雖不限國內或國外籌資的資金，但參考投審會審查門檻，即淨值五十億元以下對大陸投資可占淨值的四十％，五十至一百億元為三十％，一百億元以上則限二十％。

在人才方面，政府雖無法管制，有關官員表示，政府會創造有利環境，鼓勵半導體業者在台投資十二吋晶圓廠，並培養更高階技術的研發人才留在台灣，儘管八吋晶圓的人才、資金及技術可能外流，但會設法讓企業仍願意在國內投資十二吋晶圓廠，且在台有更大的深耕空間。