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新材料誕 快速提升光罩製作速度
 

【CTIMES/SmartAuto 報導】   2003年02月25日 星期二

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根據外電消息,美國華盛頓大學生物工程學系助理教授Albert Folch發現製造光罩之新材料,效果比現有光罩更佳,成本更為低廉。Folch所製作光罩,其理論基礎架構在微流體(Microfluidic)上,操控微流體主要成份為可食用的色素。

Folch表示,用微流體製作光罩要調整液體顏色,比生產傳統光罩簡單;稀釋色素,透光率就高,加強色素,透光率就降低。微流體光罩是在矽通道中注入不同顏色的色素,以形成光阻劑,可快速改變圖案(Pattern),改變光罩時只需變動色素的構成比例。微流體光罩圖案改變只需時數秒,更動色素的比例,讓色素流經特定點即可。

微流體生產光罩的訣竅,為微流體本身有不易擾動(Turbulence)的特性,此特性讓液態的光罩可行性大幅提高,不同色素在微通道中可吸收不同顏色的光,使微流體產出具有灰階的光罩。

關鍵字: 光罩  微流體  華盛頓大學生物工程學系  Albert Folch 
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