旺矽科技（MPI）攜手羅德史瓦茲（Rohde & Schwarz,R&S）建置高精度晶圓研發測試解決方案，其中包含了 MPI晶圓探針台系統與QAlibria校正軟體，提供射頻與毫米波元件及積體電路（IC）研發人員從校正（calibration）、模擬（modelling）、設計、驗證到除錯等完整的晶圓研發測試解決方案；進一步確保半導體元件的品質與可靠度，避免後段製程中構裝成本的浪費。

旺矽科技晶圓探針台系統與TITAN新一代RF探針系列，攜手R&S建置高精度晶圓研發測試解決方案。

旺矽科技致力於全球微電子產業微接觸量測技術，長期秉持提供先進製程技術與優質客戶服務為理念。在複雜度與日俱增的奈米製程和時間與成本的雙重壓力下，晶圓的設計、測試與驗證已成為一大挑戰；旺矽推出全新的MPI晶圓探針台系統以呼應市場需求，此探針台系統為兼具了易於操作與高準確度的手動測試平台，並注入多項獨特的設計概念。此外，旺矽攜手羅德史瓦茲（Rohde & Schwarz, R&S）打造了QAlibria校正軟體，此軟體可直接安裝於R&S ZVA 高階向量網路分析儀中進行 S 參數量測，將大幅提升測試準確度並加速射頻電路設計。

MPI晶圓探針台系統的氣靜壓載台設計，採用了單臂氣浮式控制，大幅加速XY軸定位與晶圓裝載速度，精確度可達 25x25mm XY-Theta 微米移動。在平台升降的設計上，可達 1μm 的高精確度，採接觸（Contact）、分離（Separation）到裝載（Loading, 3mm）三段式設計，並配備安全鎖避免意外發生造成探頭或晶圓的損壞。精巧且剛性的平台設計，最多可容納 10 個 DC 或 4 個 RF 微定位，滿足各種不同的應用需求。

MPI提供了多種晶圓載台選擇，包括了 MPI 同軸載台（coaxial chucks）、三軸載台（triaxial chucks）及支援量測溫度達攝氏300度的多種ERS升溫載台（thermal chucks），並可與熱感應器無縫整合；RF載台則包含了兩個內建陶瓷材質的輔助載台供校正片使用，以提供準確的RF校正。此外，MPI探針台系統提供了多種顯微鏡調節基座的選擇，並支援達 90度傾斜或透過氣動控制、以及線性 Z 軸升降；適用於一般 DC/CV 的應用或 MPI SZ10 / MZ12 於 RF 的配置，甚至可以搭配如 Mitutoyo FS70 或 PSM-1000 高倍率觀測顯微鏡進行錯誤分析（Failure Analysis）應用。MPI 亦提供減震底座與EMI遮蔽暗室（Dark Box）供客戶進行選配。

旺矽與R&S攜手打造的 MPI QAlibria免費校正軟體，可直接安裝於R&S ZVA 高階向量網路分析儀中，進行精確且可重複的 S 參數量測，快速掌握元件的集膚效應（Skin Effect）和介電損耗，精確地蒐集更高階的諧波（Harmonic）頻率等測試數據。R&S ZVA支援頻率範圍達 110GHz，極高的動態範圍與輸出功率及快速的量測速度，為毫米波頻段主動及被動元件量測的最佳解決方案；透過搭配 R&SR毫米波轉換器可延伸R&S ZVA頻率範圍至 500 GHz。R&SRZVA 於晶圓量測上，可同時搭配 4 個頻率轉換器進行毫米波差動量測。R&S ZVA 亦可執行微波頻段之混頻器（Mixer）及脈衝量測。

此外，旺矽推出全新的MPI TITAN新一代RF探針系列，以專利的探針尖設計，可提供MEMS接觸點（tip）匹配達50 Ohm。其高功率機種可供主被動RF高功率元件測試，在-60至+200的溫度下可提供10 W輸出功率、2A直流電、與250 V 電壓。於單端或雙尖的測試配置下，支援50 ~ 1250 微米（micron）的探針距離、頻率範圍為26 ~ 110 GHz。MPI TITAN新一代RF探針為晶圓S參數量測的首選，亦可應用於110 GHz 微波元件與線路測試。

MPI晶圓探針台系統包含了數種測試解決方案機種- MPI TS50, TS150, TS200 與TS300，分別支援50、150、200與300mm 基體和晶圓的精密分析，適用於錯誤分析、設計驗證與 IC 工程、晶元級可靠度驗證、MEMS、高功率元件與裝置的特性測試與模擬。