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聯電運用矽底材工程技術提升電晶體效能
 

【CTIMES/SmartAuto 鄭妤君 報導】   2004年05月21日 星期五

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聯電中央研究發展部門日前宣佈已成功運用矽底材工程技術,大幅提昇45奈米p-channel電晶體的效能;據EE Times網站報導,此項新的矽底材工程技術增加了70%的電洞遷移率,亦即增加了PMOS元件30%的驅動電流。

聯電中央研究發展部先期技術開發部長廖寬仰表示,尋求加強電洞遷移率的方法是聯電在元件發展方面的重點之一,例如可以實現效能提昇卻又避免漏電狀況惡化的應變矽技術。而除了目前研發中的應變矽、高介電質閘極介電物以及矽晶絕緣層等技術外,這項矽底材工程技術的開發也為聯電增添了一個新選擇。

聯電採用了新的矽底材結晶格方向,與使用傳統晶格方向製造於矽底材上的元件相比,根據同樣程度的元件漏電流情況為基準的評估結果顯示,電晶體驅動電流提高了30%。除了效能提昇之外,元件參數的變化也得到改善,這提高了這項技術付諸製造的可行性。

此外,使用此種矽底材工程技術時,其雜訊特性有相當程度的改善,使得這項技術更適合使用於類比應用產品。

關鍵字: 聯電 
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