在台灣與大陸地區蔓延的SARS疫情，已經對大陸地區新建晶圓廠造成一定程度的影響，包括長江三角洲一帶正準備量產的8吋廠蘇州和艦和上海宏力，因其技術團隊和後勤支援廠商多為台灣業者，雖裝機作業已完成大半，但後勤支援仍會受到人員出差限制而所影響。

據工商時報報導，大陸新興晶圓代工業者上海宏力與蘇州和艦的新建晶圓廠，裝機時程並未受到SARS影響而有太大延誤，大陸半導體業者指出，蘇州和艦目前無塵室已完工、大部份設備亦皆已移入，一切建廠計畫都按原定時程。至於技術團隊部份，已知有六十餘位自聯電離職的工程師以上職級人員已經就位。但儘管如此，因支援的台灣後勤人員出差大陸受到限制，仍會對晶圓廠服務有所影響

該報導指出，和艦及宏力後勤支援廠商的台灣人員，原本經常往訪海峽兩岸，但五月份的出差活動幾乎已全數因SARS而停頓，雖少數設備商已為台灣長駐員工辦理居留證，且持台胞證入境大陸的三個月許可原本就可以再加簽三個月，短期內台灣支援上海及蘇州晶圓廠的人力還足夠，但若疫情持續，對客戶的整體服務還是有相當程度影響。

此外業界原本預料，中芯在北京經濟開發區正興建中的北京環球半導體12吋廠，肯定受到當地的SARS而延誤建廠工程，但經相關業者前往該公司工地瞭解，建築工人及重型設備依然照常活動，顯示工程進度似乎不受影響。