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電子所銅導線晶片封裝技術造福廠商
 

【CTIMES/SmartAuto 馬耀祖 報導】   2001年07月08日 星期日

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由於目前半導體製程已經進入銅導線時代,因此屬於後段作業的打線封裝也有必要有新的技術因應,工研院電子所日前表示,該所已在銅導線晶片構裝上有了新的突破性技術進展,此技術是在銅金屬墊上利用無電解製程或金屬濺鍍製程上做出Cap Layer,即可讓銅金屬氧化情形杜絕,此項技術也已通過JEDEC的驗證測試。

據了解,該項技術可以讓我國數量在六千台左右的打線機,能夠在此銅製程晶片上繼續使用,我國封裝產業大都是在鋁製程晶片打金線,但是在進入銅導線時代,銅金屬特性容易氧化,傳統打線設備並不適用於銅金屬墊上打金線,因此,電子所研究出以Cap Layer來隔絕銅金屬使其不會產生氧化作用,此舉不僅可讓封裝廠商可繼續使用原有的打線設備,並可減少許多成本的開銷。

關鍵字: 封裝  銅製程  電子所 
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