帳號:
密碼:
最新動態
產業快訊
CTIMES/SmartAuto / 新聞 /
聯電12吋晶圓廠採用應用材料300mm Producer S製程設備
 

【CTIMES/SmartAuto 黃弘毅 報導】   2001年03月12日 星期一

瀏覽人次:【4084】

應用材料公司宣佈聯華電子已經採購該公司Producer S 300化學氣相沉積製程設備,並且安裝在台南科學園區內的12吋晶圓廠。應用材料已是目前半導體業界12吋晶圓製程設備的主要供應商,這次的採購行動則進一步強化了應用材料的領導地位。聯華電子將利用這些製程設備來沉積各種的介電薄膜,以便支援先進的次0.18微米元件的量產製造。

聯華電子副總經理吳英志表示:「對於晶圓代工廠來說,製程設備必須同時提供低廉的操作成本、極高的生產力以及支援多種製程技術的最大彈性,而300mm Producer S製程設備採用獨特的架構,可以滿足晶圓代工的要求。這套製程設備在八吋晶圓的量產製造上有成功的記錄,這是讓我們做出這項採購決定的重要因素之一。我們希望所選用的設備可以在最小的風險下,快速完成晶圓試產及量產,這對於我們12英吋新晶圓廠的成功極為重要。」 應用材料公司Producer S製程設備,為Producer平台的另一種精簡版本,可提供同樣高產出的製造能力,但是設備的使用空間卻縮小了近30%之多。利用這套「縮小版」的機型,晶片製造商就可以在每平方英呎的地板面積上,提供更高的製程生產力,這讓晶圓廠內的空間運用更有效率。

應用材料副總裁暨介電系統與模組產品事業群總經理法哈‧莫葛丹(Farhad Moghadam)表示:「聯電正加快腳步把最先進的製程技術應用於成長中的晶圓代工業務,我們非常高興能與聯華電子合作,協助他們升級到12吋晶圓製程。自上市以來,Producer已經證明為200mm製程中,最為可靠、應用富有彈性、且又合於成本效益的製程設備。當我們的客戶開始使用新製程技術的時候,同樣的優點也可以輕易轉移到300mm製程。」

應用材料公司於1998年7月推出Producer製程設備,因為其具有節省空間與高產出率的特性,因此獲得業界一致的肯定。這套製程設備最多可以容納三個Twin Chamber模組,晶圓會成對的送到各個模組,而每一個模組都包含了兩個完全相同的單晶圓製程反應室。每一個「雙反應室」模組共用許多子系統,如真空狀態的產生或是氣體的供應;但在此同時,也具有自己的電源以及其它的製程參數,讓廠商享有更好的製程控制能力。除此之外,Producer支援多種晶圓製程,涵蓋幾乎所有的介層化學氣相沉積應用。

Producer系統也提供了整合式的量測技術,可以精準測量薄膜的厚度與平整度,確保系統在極高的晶圓產出速率下,仍能達成高品質的製程處理結果。為了徹底解決造成地球溫室效應的「全氟化物」(PFC)氣體排放問題,這套設備還採用了應用材料的Remote Clean技術,這項技術並且獲得美國環境保護署表揚,認定是維持全球氣候穩定的示範產品。

關鍵字: 聯電  應用材料  吳英志  Farhad Moghadam  半導體製造與測試 
相關新聞
聯電公佈第二季營運績效成長 再推動產能利用率提升
應材發表新晶片佈線技術 實現更節能AI運算
應材發表永續報告書 制定2040年策略助半導體淨零減碳
聯電首推22eHV平台促進下世代智慧型手機顯示器應用
電腦領域需求回升 聯電2024年第一季晶圓出貨量成長4.5%
comments powered by Disqus
相關討論
  相關文章
» 未來無所不在的AI架構導向邊緣和雲端 逐步走向統一與可擴展
» 延續後段製程微縮 先進導線採用石墨烯與金屬的異質結構
» 提升供應鏈彈性管理 應對突發事件的挑戰和衝擊
» 專利辯論
» 碳化矽基板及磊晶成長領域 環球晶布局掌握關鍵技術


刊登廣告 新聞信箱 讀者信箱 著作權聲明 隱私權聲明 本站介紹

Copyright ©1999-2024 遠播資訊股份有限公司版權所有 Powered by O3  v3.20.2048.3.16.82.195
地址:台北數位產業園區(digiBlock Taipei) 103台北市大同區承德路三段287-2號A棟204室
電話 (02)2585-5526 #0 轉接至總機 /  E-Mail: webmaster@ctimes.com.tw