随着整体景气复苏，长期低潮的半导体设备产业也终于等到春天；市场分析师指出，半导体需求攀升带动业者提高资本支出，部分业者也开始因规划扩产而下单，事实上部份设备订单甚至已排到2004年第三季，其中以先进微影设备尤为明显。

据外电报导，全球最大半导体制造设备供货商应用材料（Applied Materials）董事长James Morgan表示，半导体设备市场已准备好迎接此波反弹，长期以来普遍投资不足的半导体业者，已开始释出需求，除大陆持续扩充产能，日本厂商也重拾投资。

电子设备仪器供货商安捷伦（Agilent）执行长Ned Barnholt亦对整体资本支出动向表示乐观，他指出，消费性电子与半导体销售攀升，将明显带动计算机、信息科技产品支出，冻结已久的企业支出已逐渐松绑，进入2004年，企业在计算机与信息安全设备投资上，会有更明显的动作出现。

半导体需求攀升，亦促使投资银行J.P. Morgan调升2003年半导体资本支出成长率预估值。该银行认为，2003年半导体资本支出增加幅度将超越原预期的下滑5％至持平，转为小幅增加4％，至于全球半导体市场规模成长率，亦将微幅超越稍早预估的17％，达18％。