外电消息报导,东芝宣布,将与NEC共同开发使用45奈米制程的CMOS平台技术。该平台将生产以低功耗为目标的SoC,以满足未来的行动应用需求。该平台预计在2009年第二季时进行大规模量产。
据报导,透过闪光灯退火(flash lamp anneal)技术,减少离子注入的杂质,并使用含铪绝缘体和DFM技术,东芝已开发出新平台技术的启动序列。而双重闪光灯退火制程,更提高了PMOS和NMOS的性能。加上在注入过程中,给锗掺杂氮离子以减少沟道区的杂质浓度,有助于提高晶体管的性能。
东芝表示,使用新技术的45奈米制程芯片功耗,将只有65奈米芯片的一半。而东芝预计在2008财年的第四季进行样品生产,并在2009财年第二季进行大规模生产 。