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工研院发展出ITO替代技术 成本便宜一百倍
「低温大气压电浆镀膜技术」获得2012 R&D 100金奖

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2012年08月30日 星期四

浏览人次:【4754】

在今年的Touch Taiwan触控展中,工研院展示了多项与触控相关的先进技术,包括由工研院量测中心开发、获得微软认证通过的「Windows 8触控面板手动测试工具」、凌空触控键盘(Air Touch Key-Pad)及甫获得2012全球百大科技(R&D 100)金奖技术的「低温大气压电浆镀膜技术」。

这里要特别介绍由工研院机械所主导开发的「低温大气压电浆镀膜技术」,因为它是相当具有产业革命影响力的一项技术。工研院机械所先进制造核心技术组电浆应用技术部张加强经理指出,此技术让氧化锌(ZnO)突破环保议题,成为ITO的最佳替代技术。

此一低温(

< 150℃)环保大气压电浆镀膜技术,成功突破当前光电产业中关键的金属氧化物材料(metal-oxide)镀膜难以兼顾的环保及成本的瓶颈,在大气环境下只需使用空气与含金属离子的水溶液,就可在数分钟内完成透明导电薄膜(TCO)镀膜。

今日主流的ITO透明导电膜,采用的铟材料因稀少而昂贵,又受控于中国,然而包括面板、触控面板、太阳能都需用到透明导电膜,因此,发展ITO替代材料是目前市场极热门的议题。张加强表示,锌和铟的材料成本,相差了将近一百倍,过去受限于环保议题及制程技术而无法成为商用化的透明导电材料,如今这个技术突破了这个瓶颈,这对台湾比重极大的面板、触控面板、太阳能等产业来说,都是很好的消息。

目前工研院的这项技术在材料、制程及检测验证上都已相当成熟,而且在挑战大面积镀膜的应用(G5 Size, 1100 x1400 mm glass substrate)上,也很成功。张加强相信此一设备技术能大幅提升台湾厂商的差异化条件,但由于台湾厂商普遍有一种外国月亮比较圆的心态,不愿直接采用台制的设备或技术,所以工研院的策略是将此技术先提供给国外厂商先使用,未来再从国外打回台湾。

關鍵字: ITO替代技術  ZnO  低溫大氣壓電漿鍍膜技術  工研院 
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