据工商时报引述日本经济新闻报导,日本半导体大厂将以补强LSI(大规模集成电路)部份生产线的方式扩大产能,以因应数字家电对芯片需求的增加;NEC计划在两年以增加设备的方式提升三成产能,而东芝亦将在九州岛大分工厂增加尖端LSI的产能。
该报导指出,LSI是在硅晶圆上透过曝光、蚀刻、成膜等3至4百道工程以形成电路。随着线路的微细化,使得制造过程中绝缘膜形成的能力不足(与前、后段工程比较),而使整体产能的扩增出现障碍。
为克服此一瓶颈,NEC将在其山形与九州岛厂公司追加绝缘膜工程设备。预期在2005年春季将产能提高三成。东芝则经决定在大分工厂增强铜配线工程的能力,增加130奈米以下的先进制程LSI的产量,投资额估计为50亿日圆以上。
报导指出,全球半导体需求复苏,许多半导体业者料将提前实施原先的投资计划以消弭瓶颈,同时也可预见部分厂商将会向上修正设备投资额。