美商吉时利仪器(Keithley Instruments)宣布接获韩国半导体厂采购订单,多台S680 DC/RF将安装于其多座晶圆工厂。此价值数百万美元的订单采购Keithley WAT机台作为200mm与300mm晶圆制程控管工具。
「客户选择S680的主要原因在于其与竞争对手直接进行比较时展现出较高的总产出能力」Keithley的业务开发副总裁Mark Hoersten说道。「此外,S680的独特架构为IC制造商于探测尖端提供优越的量测结果,可以为他的闪存产品提供更佳的制程控管。」
Keithley的Model S680 DC/RF参数测试系统于2003年推出,其设计系针对在晶圆上的先进逻辑电路、内存和模拟IC进行高效率的参数测试。单一测试系统结合了高度的DC灵敏度、femtoamp等级分辨率和最高至40GHz的RF参数量测。它提供业界最高的产出能力,并降低90奈米以下计新技术量测的总体拥有成本(COO)。