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英特格:进入7奈米制程材料将是关键角色
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2015年09月08日 星期二

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SEMI台湾区总裁曹世纶曾指出,站在协会的立场,能够让外商理解并在台投资,一向是协会的任务之一,由于台湾在全球晶圆代工与封测领域正值巅峰时期,若能抓准时机让国外的供应商落脚台湾,建置分公司甚至是实验室,对于台湾本土的供应链来说,无疑是正面的消息。而材料供应商英特格正是打算在台湾持续投资的外商之一。

英特格市场副总裁Wenge Yang博士
英特格市场副总裁Wenge Yang博士

英特格台湾分公司总经理杨陈杰谈到,自去年英特格并购了ATMI后,英特格就希望能够成为客户的策略合作伙伴,也在竹东成立台湾技术中心,在材料方面,英特格与位于新竹的交通大学,进行产学合作,英特格拥有一条实验型产线,可让客户进行实验,甚至是小批量量产,这种作法可让客户免于使用既有产线进行测试,既有产线可以持续量产晶圆,而测验实验则交由英特格来处理即可,进一步缩短客户的开发时间。此外,由于英特格拥有1,000种以上的材料的资料库,所以能在台湾技术中心进行材料方面的研​​发。杨陈杰也指出,未来英特格也打算在杨梅兴建第二条测试产线,预计在2016年的第三季完成建置。

而谈到材料市场未来的发展状况,英特格市场副总裁Wenge Yang博士表示,先进制程的不断演进,在技术上愈趋困难,在进入14至16奈米制程后,其量产程序多达两千道以上,若每道程序都不能出错以提升良率,困难程度大幅提升,更遑论接下来的10奈米制程。所以若要让摩尔定律能持续推展下去,材料势必是不可忽略的一环。而既有的晶圆厂仍然会持续运作之下,材料的消耗将持续下去,即便先进制程面临不少挑战,但大体上,材料市场仍可以维持一定的消费力道。

至于在未来,更进一步的7奈米制程,英特格策略暨技术管理副总裁李为博士则是谈到,新材料:锗,是目前呼声最高的材料,将有机会取代铜,目前也已有供应商开始提供。但问题在于要如何与设备与既有制程整合?由于锗无法与水相容,在接触之后会产生毒性,此外,该材料本身的稳定性也并不是相当高,所以还是要审慎因应这方面的问题。而在过去既有制程的发展历程中,大多是设备业者扮演关键角色,而材料业者则是居于配角,Wenge Yang博士认为,进入7奈米制程后,将会转变成两者必须相辅相成,才能有效面对该制程所带来的困难。

關鍵字: 实验室  7奈米    摩尔定律  材料  ATMI  INTEC 
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