全球最大的TFT前段制程化学气相沈积(PECVD)设备厂美商AKT指出,虽然目前许多次世代设备的制程技术都有长足的改善,但由于7代以上玻璃基板的取得仍有诸多限制,因此后续市场上面板产能持续开出的速度,将会受到一定程度的限制。
AKT表示,TFT面板产业在制程方面能够持续往更大尺寸的方向挺进,其实与PECVD制程设备的进步有相当大的关系,目前该公司已经出货给南韩客户的7代设备已达3套,在玻璃基板的投片速率方面,几乎都能维持与过去的4、5、6代厂相同的水平。
不过当玻璃基板越来越大,要在玻璃表面镀膜的难度就越来越高,包括镀膜的均匀性与厚度,都是相当难克服的关键点,AKT指出,当初旗下的7代厂设备,早在2003年12月就已经开发完成,不过等到2004年2月,才开始进行投入玻璃实际进行制程等工作,问题就在于「没有7代玻璃可以用」。该公司估计,从全球面板厂设备装机的几个时程来看,2000年时是一个高峰,今年又是另一个高峰,估计明年将会进入比较正常的状况,而7代玻璃目前仅有南韩的三星康宁可以提供,而且数量依然有限。
至于面板厂商指出,从5世代生产线以后的平均「每英吋面板制造成本」,从6代厂以后就开始逆势往上提升,对于降低面板成本不利,希望设备商降价以扶植产业的长期发展,对此AKT则认为,设备的折旧摊提不过占面板成本的15%左右,且经过5、6年的时间后,摊提就结束,但是设备还是可以继续用,比较起来,占面板成本比重更高的材料零组件方面,才有更大降价空间。