景气长期低迷,使得12吋半导体设备市场不如以往看好,甚至有每下预况的情形出现。近日半导体设备供应商应用材料即对外坦承,12吋设备市场需求量不如1998年来得佳,幸而应用材料公司营运得佳,故以单打独斗的方式,在没有合作伙伴的情况下,继续往65奈米技术发展。
由于目前的晶圆厂已渐渐往90奈米的进程前进,身为设备商,应用材料本身的技术不能落后于客户,否则难以满足客户的需求,因此该公司一直以来,不断的投入大量的资金、资源去开发新技术。然而景气长期不振,已让晶圆厂面临压力,尤其许多晶圆厂好不容易才转入130~100奈米制程,若再往下一个制程领域,势必遭逢更多的技术瓶颈。应用材料董事长James Morgan即表示,今年晶圆代工厂的高制程及12吋技术规划,已明显落后于过去,因此应用材料今年在没有客户的支援下,独立研发下一世代制程。
据了解,目前半导体130奈米制程已有无法突破的瓶颈,若再往100奈米以下发展,将遇到更多的物理极限,比如铜制程方面,采用双嵌刻铜(Dual-damascene)互连结构的130奈米制程,量产时普遍无法良好的可靠性,使得良率无法有效提升;除此之外,晶片通过检测后,经过长时间使用,产品的故障率明显提升。