继韩国三星日前宣布以0.11微米量产DRAM后,德商DRAM厂英飞凌也宣布以0.11微米沟槽式(Trench)制程试产256Mb DRAM,并且获得英特尔验证,目前已进入量产阶段,未来该制程将授权华邦、华亚、中芯等策略伙伴。
英飞凌表示,以0.11微米量产256Mb DRAM,与0.14微米制程相较,新制程可减少30%的制造成本,可提升50%以上的产出;与其它竞争者相较也减少10%。 0.11微米制程由德国Dresden8吋晶圆厂开发,试产成功后将移至8吋与12吋厂量产。
据了解,英飞凌将193奈米微影技术,应用于0.11微米制程量产DRAM,此举能在最短的时间内,将制程微缩至奈米制程;0.11微米可生产DRAM、DDR-II以及高速绘图卡用DRAM。