台中精机厂公司多角化跨入发光二极管及半导体制程设备用真空镀膜设备领域研发后,现又进一步完成首台国产光学镜头、数字相机、投影机等光学真空镀膜设备。
台中精机指出,该公司所研发的真空镀膜系统,主要为致力于真空光电半导体溅镀(PVD)制程设备之专业设计及制造,与日本真空技术交流,并结合国内外相关机构共同研发,从事光电、半导体制程设备之设计及制造。
台中精机是在与日本LINTEC技术合作,在台湾设置第一家量产半导体制程设备用数字质流控制阀(Digital MFC)生产线后,即致力于发展高精密、全自动化高真空镀膜系统。首先完成的是液晶显示器(LCD)光电镀膜系统设备,如电子束及热阻式蒸镀机,可适用于光电、半导体产业金属镀膜或介电层镀膜制程。
台中精机表示,光学镀膜系统设备,是采全自动光学膜厚监控系统架构,全自动镀膜层数最高可达60层,操控采可程序(PLC)人机接口多窗口系统,并可进行计算机辅助镀膜分析与量测。