半导体设备大厂应用材料于台积电年度供应炼管理论坛中,获颁台积电两项最佳产品奖,分别是最佳物理气相沈积(PVD)以及最佳快速高温回火(RTA)奖;台积电副总经理刘德音表示,应材的设备在性能与可靠度上皆有杰出表现,对于台积电迈向奈米制程有极大的帮助。
据了解,台积电对于产品奖项的标准要求严谨,所有候选者必需是台积电前20名的供货商,且符合台积电追求降低成本的条件,并在每项领域上有最佳表现,所评选的标准包括技术、生产力、成本、质量及服务;而应材所获得的奖项囊括台积电所有设备类四项大奖中的两项,代表台积电对于应材所提供之支持的高满意度。
应材表示,该公司与台积电在多项先进技术上已有多年的合作,对于台积电的肯定深感荣幸,双方未来也将持续维持紧密的伙伴关系,协助台积电在先进晶体管、铜制程与低介质制程等技术上不断精进。