账号:
密码:
最新动态
 
产业快讯
CTIMES/SmartAuto / 新闻 /
应用材料Quantum离子植入设备获联电选用
以支持其300mm晶圆的生产制造

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2001年06月18日 星期一

浏览人次:【4339】

联电已决定向应用材料公司购买多套Quantum高电流低能量离子植入设备,并安装在台南科学园区300mm 12A晶圆厂中,这是联电继去年采购应用材料多套200mm Quantum机台后的最新订单。联电12A厂副厂长廖宽仰表示:「在针对200mm Quantum/LEAP设备进行深入评估后,我们发现唯有Quantum/LEAP设备的高电流技术,可涵盖各种客户的设计需求,并满足联华电子对于技术与效益的要求。我们选择Quantum设备以支持300mm晶圆生产,不仅因为此设备现有的功能,也因为具有升级至其可涵盖至下一世代0.10微米芯片设计的特性。」

应用材料公司Quantum可支持所有「导电性」(conductive)离子植入应用,涵盖200eV超低能量植入至120keV.低能量植入技术,为0.13微米与更精密制程的一项重要技术。Quantum的厂房使用面积小,并具有由200mm延伸至300mm晶圆制程设备之特性,也是唯一被美国、亚洲、日本及欧洲等主要半导体厂商,广泛应用于0.13微米晶圆制造的低能量离子植入设备。

根据VLSI市场研究公司之数据显示,2000年离子植入设备市场总额为16亿美元,预计到2005年时会增加为24亿美元的市场规模,其中高电流及低能量离子植入设备在2000年的总额约为7.5亿美元,预计2005年时会增加至8.6亿美元。

關鍵字: 应用材料  联电  半导体制造与测试 
相关新闻
联电公布第二季营运绩效成长 再推动产能利用率提升
应材发表新晶片布线技术 实现AI更节能运算
应材发表永续报告书 协助半导体制定2040年净零减碳有成
联电首推22eHV平台促进下世代智慧型手机显示器应用
联电2024年第一季晶圆出货量成长率4.5%
comments powered by Disqus
相关讨论
  相关文章
» 最隹化大量低复杂度PCB测试的生产效率策略
» 确保装置互通性 RedCap全面测试验证势在必行
» ESG趋势展??:引领企业迈向绿色未来
» 高阶晶片异常点无所遁形 C-AFM一针见内鬼
» 高速传输需求??升 PCIe讯号测试不妥协


刊登廣告 新聞信箱 读者信箱 著作權聲明 隱私權聲明 本站介紹

Copyright ©1999-2024 远播信息股份有限公司版权所有 Powered by O3  v3.20.1.HK8B8DKG7PESTACUKX
地址:台北数位产业园区(digiBlock Taipei) 103台北市大同区承德路三段287-2号A栋204室
电话 (02)2585-5526 #0 转接至总机 /  E-Mail: webmaster@ctimes.com.tw