联电已决定向应用材料公司购买多套Quantum高电流低能量离子植入设备,并安装在台南科学园区300mm 12A晶圆厂中,这是联电继去年采购应用材料多套200mm Quantum机台后的最新订单。联电12A厂副厂长廖宽仰表示:「在针对200mm Quantum/LEAP设备进行深入评估后,我们发现唯有Quantum/LEAP设备的高电流技术,可涵盖各种客户的设计需求,并满足联华电子对于技术与效益的要求。我们选择Quantum设备以支持300mm晶圆生产,不仅因为此设备现有的功能,也因为具有升级至其可涵盖至下一世代0.10微米芯片设计的特性。」
应用材料公司Quantum可支持所有「导电性」(conductive)离子植入应用,涵盖200eV超低能量植入至120keV.低能量植入技术,为0.13微米与更精密制程的一项重要技术。Quantum的厂房使用面积小,并具有由200mm延伸至300mm晶圆制程设备之特性,也是唯一被美国、亚洲、日本及欧洲等主要半导体厂商,广泛应用于0.13微米晶圆制造的低能量离子植入设备。
根据VLSI市场研究公司之数据显示,2000年离子植入设备市场总额为16亿美元,预计到2005年时会增加为24亿美元的市场规模,其中高电流及低能量离子植入设备在2000年的总额约为7.5亿美元,预计2005年时会增加至8.6亿美元。