精密仪器发展中心近日宣布成功开发出奈米制程微流量校正系统，可精确校正各式真空仪器及微小气体流量计所使用的标准检校仪器，应用范围相当广。国科会精密仪器发展中心表示，美国半导体气体传输系统制造厂Wolfe En-gineering总裁John Wolfe曾表示，这套系统可解决下一世代微小流量控制仪器的校正问题，有意愿与之合作。

精仪中心开发的微流量校正系统，包括双腔式流量产生器及以孔口板区分上下腔的主腔体两个次系统，应用范围包括离子、冷阴极、电容式、热偶式、精密波尔登、转球黏滞等真空计及漏气率标准件、微流量控制器、残气分析器等。