根据中央社报导,国内DRAM业者力晶在工研院能资所的协助下,斥资新台币 2.5亿元完成12吋晶圆厂节约用水计划,成为半导体业界第一家废水回收率超过85%的晶圆厂,并获经济部水利署颁发之「92年度节约用水绩优单位」奖。
力晶表示,由于12吋晶圆制程技术的创新及复杂程度相对提高,工业用水的减量、回收、再利用及再生等议题重要性也日益显著,因此该公司与工研院能资所合作发展相关技术,投资新台币 2.5亿元建置一系列节约用水设备。
该报导指出,力晶之环保用水计划的内容涵盖12吋晶圆制程用水、废水回收处理设备,制定制程选别回收分类管理系统,以及全厂皆使用回收水等,启用后成效良好;力晶表示,该公司从8吋到12 吋晶圆制造,虽然每片晶圆面积增加125%,用水量却只增加10%。
而由于力晶节水计划绩效卓著,经济部水利署特别遴选力晶为「92年度节约用水绩优单位」;力晶也表示将持续此一节水计划,并协助推广此项环保观念。