网站SBN指出,半导体设备供货商大厂美商应用材料(Applied Materials)日前宣布,该公司最新RETicleSEM系统,将运用在65奈米光罩及相关应用产品方面;该系统乃是应用材料进军光罩量测(mask metrology)市场的第一步。
该报导指出,应材之RETicleSEM系统可支持各种光罩应用产品,且同时量测光罩及晶圆,协助芯片供货商得以交互参照其在晶圆表面上所建立的图案,藉以确保产出质量。该公司制程诊断与控制产品事业群(Process Diagnostics and Control Product business group)副总裁暨总经理Gilad Almogy表示,该款系统乃是应用材料首度进军光罩量测(mask metrology)市场的产品。
据市调机构Gartner Dataquest调查报告指出,全球光罩量测系统市场规模2003年将达1500万美元,预估在2005年以前可成长到4400万美元市场规模;应用材料欲抢食市场大饼的企图不言可喻。