半导体龙头英特尔(Intel)在65奈米半导体制程技术的开发已有实际成果,据网站Channel Times报导,该公司已宣布成功采用65奈米制程技术试产SRAM,并可在2005年导入量产;而英特尔在本季推出的Pentium 4芯片上也已采用90奈米制程技术。
该报导指出英特尔的新世代65奈米节点技术,在整合低介电质(Low-K)材料、高速铜导线及应变硅晶(Strained Silicon)等技术;且该公司确定可在2005年以65奈米制程在12吋晶圆上生产SRAM。
自2002年开始,全球各大半导体厂或晶圆代工厂相继投入以90奈米制程生产芯片的技术开发,多数厂商多已在2003年宣称技术成熟,可投入量产;而英特尔65奈米SRAM试产成功的宣示,代表其技术仍超前其他竞争者甚远,多数业者均认为必须等到45奈米节点时,方须用到应变硅晶的技术。