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STS深蚀刻设备获精材科技采用
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2003年11月05日 星期三

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硅晶深蚀刻制程设备业者Surface Technology Systems(STS)宣布,该公司已取得台湾封装业者精材科技订单;精材科技表示,该公司为了争取需求迅速增加的光学传感器市场,将配合现有的STS蚀刻机,安装 STS 进阶硅晶蚀刻(ASE)系统。

精材科技表示,该公司选择 STS 蚀刻系统对该公司制程关键步骤很有帮助,而在扩展产量的同时,STS亦能提供技术支持与服务。STS目前透过与台湾代理商佳霖科技之合作,拓展本地的业务和提升客户服务质量。这两家公司最近在精材科技的供货商和厂商调查中,共同被评选为「冠军供货商」。

STS 向来在硅晶深蚀刻制程技术具备长期经验,特别是在微机电(MEMS)生产部门,其中超过80%的量产厂商使用 ASE 制程。STS 的根基建立在优良的效能、复制性和 10 多年硅晶深蚀刻应用的经验上,能够继续扩展其 ASE 系统的能力,将这些系统用于各种先进晶圆级封装应用中的关键蚀刻步骤。

關鍵字: STS  其他仪器设备 
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