据路透社报导，国际半导体设备暨材料协会（SEMI）周一表示，尽管半导体产业景气出现复苏迹象，但因制造商仍对新的投资抱持谨慎，9月北美芯片制造设备订单仅较上月微幅成长。

根据SEMI所公布之数据，9月半导体设备三个月全球平均订单为7.605亿美元，较8月修正后的7.32亿美元成长4％，但较2002年同期的8.32亿美元下降8.5％。SEMI亦指出，9月半导体设备三个月平均出货额为8.035亿美元，较8月修正后的7.92亿美元高出1％，较2002年同期的10.4亿美元下降23％。

该调查数据亦显示，北美半导体设备订单对出货比（B/B值）为0.95，高于8月的0.92。SEMI的一位发言人表示，所有指针都显示芯片产业在复苏，但产能方面的支出和新投资还没有出现。

该机构产业研究主管亦指出，谨慎的投资以及产能利用率的升高都显示2004年支出将出现更大幅度的成长。根据美国联邦储备理事会（FED）上周公布的数据显示，美国半导体和相关电子零组件工厂的9月产能利用率为72.4％，8月则为71.2％。