美商半导体设备供应商科磊(KLA-Tencor)近日宣布,在台成立亚太地区第一座线上支援中心(OSC),该中心采用KLA-Tencor的iSupport e-diagnostics电子侦测技术,以协助亚太地区的客户,能妥善维护KLA-Tencor提供的半导体设期。
KLA-Tencor公司表示,透过安全线上连线进行,由客户全程监控,这个方法不仅能即时解决客户的作业问题,同时能降低KLA-Tencor维护设备的成本。 OSC工程师透过网路对晶圆厂中的机台,即可直接检查各种系统错误、远端诊断、以及检索档案等作业。此项流程可降低平均修复时间,同时提升机台的正常运作时间以及降低机台的持有成本。