针对奈米产业之精密量测需求，均豪精密公司与工研院量测中心合作开发国内第一座商业用原子力显微镜，拥有量测奈米级的解析度，于日前完成，预计今年第二季出货，可应用于半导体、光电及生技等领域。

近日展示第一台国人自行开发的原子力显微镜，均豪精密机械事业群总裁叶胜发表示，目前进口原子力显微镜，每台市价高达500万元，为降低成本，台湾有自行研发原子力显微镜的必要。量测中心主任徐章表示，如缺乏量测仪器检测，奈米技术无法获得认证，这对正迈入奈米世纪的台湾而言，尤其重要。

叶胜发表示，有鉴于国内大多研究单位已具备光学显微镜，而且已熟悉光学显微镜系统操作。因此开发原子力显微镜探头模​​组，除了容易安装在既有的显微镜上，将解析度升级到奈米级的解析度，同时可减轻研究单位的负担，免除采购进口原子力显微镜的高昂价位。