据调查机构VLSI Research所公布的最新调查报告，2002年全球半导体设备市场销售额减为298亿美元，较2001年的393亿美元衰退24％。 2002年前十大半导体设备供应商，则由应用材料（Applied Materials；应材）与Tokyo Electron Limited（TEL）蝉连前两名宝座。

尽管半导体设备市场走软，然前两大厂商应材与TEL的名次并未受到影响，两家公司均连续11年蝉联全球半导体设备销售冠、亚军宝座，2002年其销售额分别为50.8亿美元与26.46亿美元。排名第三的ASML，则是首次进入前三大，其销售额为18.75亿美元。

以厂商所属区域来看，美商表现较佳，其合计销售额达80.6亿美元，美商在前十大厂商中，市占率达50.7％。前十大厂商中，5家日商合计销售额为59.5亿美元，市占率为37.5％。 ASML则是前十大厂商中唯一的欧洲厂商，其市占率为11.8％