近日工研院电子所宣布成立「微机电系统技术使用者联盟」，主要目的为国内业者制程发展所需的研发环境，以及建立微机电资讯交流机制，提升我国微机电技术之国际竞争力。目前国内五家微机电代工厂加入外，联盟成员中还包括明基、台达电与旺宏等，且分别投入印表机喷墨头、射频与设计部份。

电子所所长徐爵民表示，成立联盟的目的，在于强化微机电产业上下游之交流。此次加入电子所成立的联盟之产学单位共计24家，包括材料、设备、IC设计、制造、封装及系统等厂商。

目前电子所已完成并可技转的技术，主要为CMOS微加工技术与CMOS MEMS整合技术。徐爵民指出，CMOS微加工技术是微机电系统技术发展的基础，结合半导体技术与精密加工技术，制作出比超细微结构、元件及产品。微机电系统技术使用者联盟成立后，将提供共用晶片（Common Chip）及共同实验室（Common Lab）等研究群。