据Chinatimes报导,联电新加坡UMCi 12吋晶圆厂投资案,在之前传出装机计画将延后至2003年第2季,最近又有新变化。联电方面决定2003年第2季UMCi的装机,仅以铜制程为主的后段(back-end)设备为主。据了解,联电这项装机计画的修改,将可为该公司至少省下五成投在UMCi的资本支出。
一般而言,半导体晶圆厂将IC晶片制程略分为前段(front-end)及后段(back-end),前段制程设备以较高阶的显影设备、炉管、离子植入机为主。后段制程在0.13微米时代渐为主流后,连接线路的制程即以铜制程为主流,且整个制程量产的瓶颈也集中在这一阶段,主要设备为非最高阶的显影设备、化学气相沉积CVD、物理气相沉积PVD等。
联电这次将UMCi的装机计画小幅修改,业界看法认为,是为因应产业景气仍不明朗的保守方案。在晶圆厂中,前段制程虽耗时较短,但使用的主要制程设备单价较高。后段制程方面,现在需使用铜制程的IC产品设计,常高达七、八层,对晶圆厂制程人员亦是重大挑战。
UMCi目前计画2003年的试产线,使用前段制程已在台湾12吋厂内先予完成的晶片,运至新加坡后专注在后段铜制程部份,一来集中资源于最困难的制程瓶颈阶段,二来设备采购成本也可节省5成以上。