Numerical与三星电子近日签署一份授权协议,Samsung将透过Numerical的相移技术(phase-shifting)生产新一代SRAM产品。在签署此项协议之前,双方团队历经长时间的研发合作,为此项产品进行120奈米元件生产制程的改良,预计将于明年初开始进行量产。
Numerical生产验证的相移技术已广泛被全球各地的晶圆制造厂采用建置,透过现有的光学显影设备,提供半导体制造厂商可靠且低成本的模式,以生产各种次波长积体电路(subwavelength IC )。 Numerical的相移技术为目前唯一已可实际销售的相移技术,并已被广泛运用于IC元件生产。过去,这项技术曾与248奈米蚀刻设备一起被应用于实验室环境中,生产全球尺寸最小之9奈米电晶体元件。
Samsung公司副总裁Dr.Jeong-Taek Kong表示,「Numerical的相移技术的初步试产结果,不仅能帮助我们制造出经济实惠、具有优秀良率,并进一步符合我们与客户高度期望的100奈米元件,更可协助我们运用精确无误的技术且赶上产品研发时程表的进度。」
Numerical公司代理总裁兼执行长Naren Gupta表示,「让顾客成功一直是我们企业的经营理念,我们很高兴能够扮演协助Samsung生产新一代的记忆体产品元件的关键角色。虽然双方历经长久的努力与坚持,但最终能够达成此项授权协议,Numerical更乐于见到双方努力推动的新制程即将投产。」