半导体制造准分子雷射光源供货商-Cymer，日前宣布它已经和一家微影设备主要供货商达成销售协议，把总金额超过7,900万美元的ELS-7000氪氟雷射光源提供给这家公司；ELS-7000是Cymer现有光源产品中最先进的氪氟雷射光源。根据这项采购协议，从现在开始一直到2003年底，Cymer将分批把这些光源设备提供给客户。

Cymer总裁暨执行长Pascal Didier表示：「我们致力把更高的产品价值带给客户，满足他们对于Cymer期望，这项合约显示我们的努力已获得成功；此外，它也证明我们的技术足以推动目前最先进微影设备，满足客户对这些技术的严格要求。整体来说，我们相信这份协议已清楚指出，ELS-7000正迅速为市场接受，成为今日最先进248 nm应用的最佳光源选择。」

Cymer指出，ELS-7000可在4 kHz频率下提供30W平均输出功率，并支持最高扫瞄速度，为客户带来最大生产力和晶圆产出；对于200mm和300mm微影扫瞄机，即使它们使用数值孔径大于0.8的镜头，ELS-7000也可提供完整的影像能力。这套光源设备还拥有高度窄线化带宽，半波全高（FWHM）( 0.5 pm，95%能量范围 ( 1.4 pm，使它得以提供更好的频谱效能。