工研院计划于91年1月成立「奈米技术中心」，初期将以从台积电回收、位于工研院院区内的台积电一厂做为基地，五年内总计将投入上百亿元。目前与奈米技术有关的分项计划，包括奈米电子、奈米材料、奈米生物、检测与设备，及设立奈米技术中心，至于奈米生物部分，预计在93年等材料及化工等基础研究有相当基础后才会投入。

工研院董事长翁政义表示，奈米技术是台湾未来高科技发展的关键技术，明年1月工研院新成立的奈米中心，将投入新台币100亿元，全力推动奈米技术。负责奈米计划的工研院副院长杨日昌强调，有别于以往产业由上而下的开发模式，奈米计划则采由下而上，先打基础的工作。

台积电并承诺把厂内适合奈米技术中心所需的设备，保留给奈米技术中心使用。奈米技术五年100亿元投资计划中，将有25亿元用于设备投资，工研院将由电子所、材料所、化工所、光电所、机械所及量测中心整合各方技术专才，初期有100至200人，预计最多将达700人的规模。工研院奈米技术开发计划将自明(91)年起先投入8亿元，接着在92年投入16亿元，并在93至94年达到投资高峰。