为提升12吋晶圆生产效率,联电强化单晶圆制程生产能力,与台湾应用材料就12吋晶圆制造展开进一步合作。联电采用应用材料的相关机台,生产0.15微米制程的芯片,在12吋厂的投资及研发上取得领先地位。
联电12A厂副厂长廖宽仰于日前表示,12A厂大部分机台在今年3、4月时迁进,联电过去在8吋晶圆制造上,即采用台湾应用材料的单晶圆制程设备,目前将该经验移植到12吋晶圆上,联电12A厂初期生产0.18微米的128Mb DRAM等产品。