茂德十二吋厂的设备订单几乎已全数下订,明年年中开始装机,十二月试产,二○○二年第二季将可利用○‧一四微米的二五六Mb DRAM做为载具,全面量产。茂德表示,依照各国DRAM厂公布的十二吋厂时程,茂德将成为全球第二座十二吋的量产工厂。
全球各半导体业者已宣布十二吋厂的业者,包括英特尔、台积电、联电、Trecenti、德州仪器、Infineon、美光、摩托罗拉、现代、NEC、力晶、华邦等等,虽然投入着众,但真正着手积极部署,甚至下单订购设备的厂商不多,许多厂商的设备,更以试产线的少量订单,做为先导性的研究,或是仍在观望。
跨入十二吋厂后,茂德预估,由于目前的十二吋晶圆成本较高,先期进入的业者成本必须先承受一段较困难的成长曲线。若以相同的良率计算,若单月的量产数量为一千片,则每颗的DRAM的前段生产成本,十二吋厂将是八吋厂的八五%,若产量达到二万片,则成本将可降至七○%。如果晶圆的材料单位面积成本能与目前相同,最现想的状况,生产成本将可降低至六○%。