新竹科学园区半导体晶圆厂面临「氟化钙污泥」无处去的难题，储存二个月的1,500吨脱水污泥，已呈现爆满的窘况。业者急如星火，除要求园区管理局提供暂存长储放外，台积电、联电等十家厂商，也分别与工研院化工所签约，进行资源化再利用研究。

氟化钙污泥的产生，主要是电子产业利用氰氟酸进行蚀刻及酸洗的制程，经过中和处理后所产生的事业废弃物-氟化钙污泥饼。以往，半导体厂商都是交给有执照的清运处理商，以掩埋方式处理。但是合法事业废弃物代处理业一家家关门，或是因迁厂营运尚未取得许可等影响，竹科各大晶圆厂已有二个月的氟化钙污泥饼无法清运。