微電機架構(Micro-Electrical Mechanical Structure;MEMS)的壓力感測器的應用十分廣泛。包括電器類製品、醫療以及汽車工業等方面都可以見到它的蹤影。在電器類製品方面,它可以用在水位偵測(例如洗衣機或洗碗機),或是真空吸塵器的壓力偵測上。在汽車工業方面,偵測歧管絕對壓力(manifold absolute pressure;MAP)、或是胎壓偵測(tire pressure monitoring;TPM)等等,都是常見的應用。醫療應用則包括血壓監測、子宮內壓監測,以及防止睡眠時呼吸中斷的裝置等。其它類的應用還包括空調流通偵測 (heating、ventilation、air conditioning、HVAC)、高度計及晴雨計等等。
由於壓力感測器的用途甚為廣泛,因此它適用的媒介以及可靠度便成了人們最關注的範疇。大多數的應用都要求感測器必須在嚴苛的環境裡維持長時間運作(例如汽車零件就必須維持至少十年以上的壽命)。雖然這些裝置應在潔淨乾燥的空氣中運作,然而大多數實際的應用多少都會暴露在較差的環境下,例如潮濕的環境。要在壓力感測器市場上佔有一席之地,就必須提供絕對可靠的裝置。由於MEMS的架構會直接接觸量測環境,因此壓力感測器對於可靠度的要求又更為嚴格。這對封裝技術帶來了更大的挑戰。本文也會針對封裝的部分做探討。
裝置結構
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