涉測量調節 (Interferometric Modulation; IMOD) 是一種革命性技術,應用於高通 (Qualcomm) 的mirasol顯示幕。mirasol 顯示幕中的干涉測量調節技術以微機電系統 (micro-electro-mechanical systems ;MEMS) 為基礎,可製作出反射直視的平面顯示幕。顯示幕在結構上使用干涉方式,因此能製造出高效能的反射顯示幕,可在各種觀看環境下提供絕佳的可視性。微機電系統裝置的電機行為具有雙穩態的特性,因而降低功率消耗。干涉測量調節像素的開關速度相當快,以微秒為單位,因此可製造出高視訊比的顯示幕。mirasol顯示幕以干涉測量調節技術製造,反射率超過60%、對比超過15:1,驅動電壓則低到5伏特。而mirasol 顯示幕的干涉測量調節元件雖然構造簡單,卻能取代液晶螢幕顯示幕中的偏光板、液晶、彩色濾光片及主動矩陣,提供光調變、色彩選擇及記憶等功能。
IMOD像素的結構與電機特性
在圖一中,顯示干涉測量調節元件的基本結構,mirasol 顯示幕的像素是由這些元件以不同數量所組成。這些元件使用標準的薄膜程序,在玻璃基板上進行組合,以產生光學共振的微機電系統凹穴,構成空氣間隙,將多層光學薄膜與可動反射膜分隔開來。藉由半透反射膜(多層薄膜內)以及反射膜之間的光學間隙,讓光學間隙中反射的光線,可以發生相長與抵消性干涉。產生相長干涉時的波長,可以設定干涉測量調節元件反射光線的顏色。改變凹穴空氣間隙部份的高度,可以反射出不同顏色的光線。
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